黄河 真空等离子体处理的工作原理是什么呢?


黄河 真空等离子体处理的工作原理是什么呢?
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黄河 真空等离子体处理的工作原理是什么呢?

等离子体清洗技术为什么说在半导体封装中普遍存在 , 以下6点主要介绍:
因为等离子体不是液体 , 也不是气体 , 所以可以将等离子体描述为“第四态” 。 以离子和电子的形式存在着 。 基本上 , 这是一种离子化气体 , 正向相反 , 会有额外的电子 。 在宇宙的其它地方 , 地球上的自然活动相对较少 , 同时也有大量的电浆 。
如何进行真空等离子体处理?在等离子中 , 我们首先得到了等离子 。 向封闭、低压真空等离子体室中引入气体或气体混合物 。 该气体在电极阵列之间所产生的RF(RF)功率被激发 。 这些气体中的活化离子加速并开始振动 。 这样的振动“擦洗”了室内的表面 , 去除了污染物 。 通过这种方式 , 激发气体和等离子体中的原子发出紫外光 。 从而引起等离子发光 。 温度控制系统一般用于控制腐蚀速率 。 在60-90度之间 , 电浆的腐蚀速度是周围环境的4倍 。 对于感温元件或使用感温元件 , 等离子腐蚀可以降低到15摄氏度 。
全部温度控制系统都是预先编制好的 , 整合成软件 。 在腔体中引入不同的气体 , 可对工艺进行改进 。 常用的是O2.N2.Ar.H2和CF4 。 大多数实验室分别或联合五种气体进行等离子体处理 。
等离子体清洗技术可以说在半导体封装中普遍存在 , 以下6点主要介绍:
(1)等离子在清洗晶片上:可以起到清除残留光刻胶的作用;
(2)等离子在装银胶前:可以使工件表面粗糙 , 亲水性大增 , 便于铺贴银胶和晶片上 , 同时能大大节约银胶的用量 , 降低成本;
(3)等离子在引线连接前清理:可以清洗焊盘 , 改善焊接条件 , 提高焊接可靠性和良率;
【黄河|真空等离子体处理的工作原理是什么呢?】(4)等离子在塑封:提高塑封料和制品粘接的可靠性 , 减少分层风险;
(5)等离子在清洗基板:BGA贴装之前 , 对PCB表面进行等离子体处理 , 可使Pad表面清洁.粗化及活化效果 , 大大提高BGA贴装的成功率;
(6)在线框清洗前:通过等离子体处理 , 可达到机架表面超净化活化的效果 , 提高芯片的粘接质量 。
以上资讯是关于真空等离子清洗技术在半导体/晶片领域的6大常见作用 , 希望对大家有所帮助 , 如有不足之处 , 可以私聊我们喔!

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