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Yulin在乌克兰获得博士学位后 , 1999年加入德国夫琅和费应用光学和精密工程研究(Fraunhofer IOF) , 从事EUV镜头镀膜工作 。 我几个月前 , 和朋友们聊过长春光机所论文中使用的德国最先进的EUV光刻机镜头镀膜机NESSY 1900 。
NESSY系统正是在Yulin博士的带领下 , 于2009年在Fraunhofer IOF开发的EUV镜头镀膜机 。 直到今天 , 他的NESSY系统仍然被Fraunhofer IOF和项目合作伙伴用于生产极高质量的光学产品 。
2020年 , Yulin和另外两位Zeiss和Trumpf的同事获得“德国未来奖”(Deutscher Zukunftspreis) 。 我看到网友在“德国未来奖”下的评论“这才是未来奖该有的样子” , 唏嘘不已 。 这几天 , 我在调研Yulin博士大约36篇的论文资料 , 希望了解更多镀膜技术和装备发展的细节 。 当然 , 我也了解到NESSY系统在中国有强大的代理商 。
【这位研发EUV的乌克兰科学家,咋一看我还以为是中国人】
我常常想 , 当我们采购了NESSY后 , 看似一夜之间掌握了镀膜技术 , 将工艺水平从小学生提升到了大学生水平 。 然而本质上 , 我们是在倒退的--因为我们不仅失去了国产镀膜设备技术发展的机会 , 并且丢弃了自主研发体系 。 那么问题出在哪里呢?
购买NESSY的群体凭借“工艺提升”的成就上位之后 , 我们从事自主镀膜设备研发的博士常常就失业了--而如果我们再这样短视下去 , 就难以从根本上解决国产困境 。
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