四甲基氢氧化铵（TMAH）浓度在线监测仪在半导体行业应用介绍
湖南楚一测控专业开发及生产四甲基氢氧化铵（TMAH）浓度在线监测仪（检测仪、测量仪）、四甲基氢氧化铵（TMAH）在线浓度计、TMAH在线折光仪（折射仪）、四甲基氢氧化铵浓度在线测量仪、TMAH折射仪浓度计；显影液在线浓度检测仪,显影液在线测定 ,在线TMAH浓度仪 。
四甲基氢氧化铵（TMAH） ， 在电子行业中广泛用作FT-LCD、IC正胶显影剂、硅晶蚀刻剂、CMP过程超纯清洗剂 ， 同时也是液晶显示器中的显像液 。 随着电子工业日新月异的发展 ， PCB技术也在飞速发展 。 作为PCB图形成像之关键工序——显影 ， 直接影响着线路品质及阻焊的品质 ， 显影的品质要求不能有显影不净 ， 不能有显影过度 ， 不能有掉线和绿油脱落等 ， 显影露铜点50% ~ 60%（一半显影段） 。 因此显影液浓度的控制对显影工序起着非常重要的作用 。
例如：根据工艺要求需要将现存的浓度为20%的TMAH洁净液稀释到目标浓度2.48% ， 需要在线仪表提供准确TMAH浓度测量 ， 已达到精确配置目标浓度显影液的目的 。 目前国内常用采样后分析系统测量TMAH的浓度 ， 测量过程大概需要20分钟时间 ， 该方式不具备实时性 ， 过程管道的浓度变化无法及时监测到 ， 导致调控滞后 。 为了提高生产量 ， 显影液的配对效率需要提高 ， 缩短配比的时间 ， 需要在线实时对TMAH的浓度进行监控 ， 完善工艺控制要求 。 采用折光原理的TMAH在线浓度仪能够满足在线检测要求 ， 且测量精度高 。
四甲基氢氧化铵（TMAH）在线浓度计利用折光的原理测得溶液的折光率 ， 折光率与TMAH溶液的浓度有极好的对应关系 。 通过换算从而得到溶液的实际浓度 。 这种测量原理稳定性好 ， 精度高 ， 它适用于管道安装或容器壁处的安装 ， 以及其它等多种安装方式 。
在四甲基氢氧化铵（TMAH）浓度计的优点：
1.在线连续检测 ， 不再需要人工频繁取样实验室检测 ， 节省大量人力、财力
2.消除人工检测误差 ， 保证产品一致性
3.连续测量 ， 迅速反馈 ， 提升产品质量
【测量|四甲基氢氧化铵浓度监测仪在半导体行业应用介绍】4.提高自动化程度 ， 相关的浓度数据可通过组网的形式与中控室连接
5.不受溶液气泡、压力影响（与密度法相比）
CY-TMAH在线浓度传感器
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