突发：台积电12寸厂一日连爆污染生产事故，连带晶圆代工砍单潮( 二 )

2019-01-29

同天同厂区爆发一大一小“受污”事件

因为随着终端电子产品的体积越做越小，半导体元件也是不断微缩，导致铁离子的测试规格越来越严苛，根据业界透露， 28 日一开始传出的前段刻蚀（etch）铁离子污染，未通过台积电内部检验程序。不过，这个事件马上被解决，影响的晶圆数量仅几百片，仍不足为患，也不至于造成太大的影响。

但很快地，就在 28 日同一天，台积电 14 厂又爆发出第二桩“案情” 。根据业界透露，是该厂使用的光刻胶受到污染，导致该厂房在线的晶圆出现部分报废，因为前段晶体管受到污染可能会导致晶圆不正常的漏电，进而影响产出的良率和可靠度。

图|台积电 14 厂爆发化学原料污染事件，该厂区员工已被告知停止休假，进行全厂区全面检验。（来源：台积电）

台积电回应，是因为使用了与原本规格有误差的化学原料，因此影响产出晶圆的良率，目前正在厘清该事件发生的原因，且正在跟客户沟通细节和后续处理。

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