ASML光刻机

博士生斯特凡诺斯·安德鲁解释说，即使是最轻微的晶圆变形也会引起问题。 “这些晶圆实际上非常坚硬，但是由于受到重力的作用使它们略微变形。对这种变形的测量使ASML有机会以某种或其他方式对其进行补偿，然后获得了生产甚至更小的芯片的可能性。 ” 这促使塞浦路斯人以此作为他的博士学位课题。安德鲁致力于设计一种基于玻璃纤维的特殊传感器，该传感器能够测量每米大约1纳米的变形。

非凡的准确性

这种超高精度传感器的原理是，可以以非常高的精度测量激光频率的偏差（一种被称为“光纤布拉格光栅（Fiber Bragg Grating ， FBG）”的原理），这种玻璃纤维经过了多种处理，对于非常特定的颜色（颜色既光的频率）的光变得不透明。这个谐振频率依赖于纤维被拉伸的程度。

因此，安德鲁解释说，光纤布拉格光栅可以应用于光刻机中的运动部件，用来测量晶圆的变形。在硕士生罗尔·范德宗（Roel van der Zon）的协助下，安德鲁在实验室中测试了基于这种光纤布拉格光栅传感器的测量系统。 “实际上， ASML需要数十个这样的传感器，但这没问题：它们可以廉价生产并且几乎没有重量。 ”