中国芯片再爆好消息! 国产光刻机迎来新突破: 开始攻关65nm技术( 二 )
但近日 , 我国光刻机研究终于传来了好消息 , 国内企业正在攻关65nm工艺的光刻机设备 , 目前已经取得了一定的进展 , 这意味着我国的光刻机设备也即将进入到中端市场领域 , 迎来了新突破 , 随着国产光刻机分辨率的提高 , 从90nm进入到65nm时代 , 也将会进一步缩小我们与ASML之间的差距;
但实际上 , 即便是国产光刻机能够攻克65nm技术难题 , 成功量产65nm光科技设备 , 但要知道我们国产光刻机目前依旧还是处于严重落后的地步 , 当然针对这种现象 , 实际上与我们在光刻机设备研发起步时间、技术、人才等等方面 , 也是有着直接的关联 , 例如在光刻机技术研发上起步较晚 , 同时还遭到了西方国家的技术封锁 , 在关键技术人才方面的积累较少等等 , 综合之下 , 也就直接造就了国产光刻机技术长期处于落后的态势之中;
而起步较早的ASML在光刻机设备领域 , 在2004年全球芯片制造工艺都进入到了全新的瓶颈期 , 而作为全球知名的芯片代工企业 , 为了能够进一步需求突破 , 所以也是联合了ASML , 制造了一台以水为介质的光刻机设备 , 相对比过往以空气为介质的光刻机设备 , 在分辨率方面也是有着更加优异的表现 , 所以ASML也凭借这种以水为介质的浸润式光刻机设备 , 成为了全球最强的芯片设备制造企业 , 一举打败了当时日本尼康、佳能等知名企业 , 而台积电方面自然也是得到了ASML更多的关照 , 后来也直接奠定了台积电在芯片代工领域的霸主地位 。
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