科创板第二批问询回复出炉 5公司被问了248个问题(14)

公司化学机械抛光液已在130-28nm技术节点实现规模化销售,并应用于台积电、中芯国际等全球领先集成电路制造公司晶圆产线。因此,公司化学机械抛光液所应用的主要核心技术金属表面氧化(催化)技术、金属表面腐蚀抑制技术、抛光速率调节技术、化学机械抛光晶圆表面形貌控制技术为“国际先进”。公司为目前国内极少数量产集成电路领域高端光刻胶去除剂的公司之一,光阻清洗中金属防腐蚀技术已在国内领先的集成电路公司被验证与国外竞争对手表现相当甚至具有一定优势,技术水平为“国际先进”。公司其他核心技术水平为“国内领先”。公司最早销售的一款化学机械抛光液产品已从 2008 年开始稳定供货至今,该款产品生命周期超过10年。由此可以看出,公司技术及产品快速迭代的风险较小。

安集科技表示,长期以来,全球化学机械抛光液市场主要被美国和日本公司所垄断,包括美国的 Cabot Microelectronics、Versum 和日本的 Fujimi 等。其中,Cabot Microelectronics 全球抛光液市场占有率最高,但是已经从2000年约 80%下降至2017年约35%,表明未来全球抛光液市场朝向多元化发展,地区本土化自给率提升。

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