国产22nm光刻机对比荷兰ASML光刻机：差距无法接受( 三 )
芯片制造只有光刻机也没用 ， 还要有其他的核心技术相结合 ， 这个设备只是决定了芯片的工艺技术水平 。 国产光刻机还不能满足目前主流芯片的规格要求 ， 未来的道路任重而道远 。
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