国产内存年底量产 但前路依旧漫漫( 六 )
据知情人透露,紫光集团借助长江存储和武汉新芯的平台,聚集了大量的3D NAND和DRAM的工艺研发人员,工艺研发人员人数近2000人。目前长江存储和武汉新芯的员工人数近6000人。
需要指出的是,紫光自主研发内存可能需要3到5年时间,这意味着即便2021年厂房建好了,内存生产也只可能是小批量的,大规模的量产可能要等2022年了。
技术来源都是奇梦达?未来发展或受限
从前面的介绍来看,长鑫存储和紫光集团的DRAM技术来源似乎主要都是奇梦达。
而奇梦达的DRAM技术主要以沟槽式DRAM技术为主,而当前美光、三星等DRAM大厂都采用的是堆栈式技术。
DRAM的制造中以电容定义的方法区分,主要分为堆栈式(Stack)和深沟槽式(Trench)电容器两大类型。沟槽式DRAM的电容在栅极下方,堆栈式DRAM的电容器则在栅极上方,是这两种DRAM最大的差异。
在沟槽式DRAM的制造中,必须先在基板蚀刻出沟槽,然后在沟槽中沉积出介电层,以形成电容器,然后在电容器上方再制造出栅极,构成完整的DRAM Cell。
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