业内爆料称刻蚀机成我国手机业短板 远达不到量产效果
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运营商财经网吴碧慧/文
根据手机制造商内部人士向运营商财经网透露,目前,刻蚀机仍旧是我国通信制造业的短板,而刻蚀机作为芯片制造的重要设备,远达不到量产效果,自然对我国的芯片产业造成不小的影响。
运营商财经网了解,通过刻蚀机与光刻机的合作搭档,芯片上的电路才能顺利刻录,两者都是芯片制造的重要设备之一,缺一不可。恰恰两者都是国内的短板,在这样的情况下,也难怪中国芯片比不上国外。
据了解,刻蚀机的工作原理相当于“雕工”,按照光刻机投影在芯片上的精细电路图刻线,刻除不需要的部分。
目前,光刻机要达到5纳米曝光度难比登天,而刻蚀机精度如今已远超光刻机的曝光精度。在刻蚀精度的难题解决之外,更难在是如何让电场能量和刻蚀气体都均匀地分布在被刻蚀基体表面上,以保证等离子中的有效基元,在晶片表面的每一个位置实现相同的刻蚀效果。
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