美光新加坡Fab 10工厂扩建完成下半年投产96层3D NAND_美光本周在新加坡举办了庆祝Fab10工厂

美光本周在新加坡举办了庆祝 Fab 10 工厂扩建顺利完成的仪式。尽管新的洁净室不会增加该公司每月的晶圆产能，但却能让美光技术使用更先进的 3D NAND 工艺技术，生产具有更高层数和比特位密度的产品。实际上， Fab 10 Expansion 是由多个部分组合而成的，包括了此前的 Fab 10N 和 Fab 10X 设施。

官方指出，新 3D NAND 生产设施占地 16.5 万平米。至于洁净室的空间、以及其它扩展功能部分，暂未透露。

目前该工厂正在设备安装阶段，预计可在 2019 下半年（未来 4-5 个月）投产 96 层 3D NAND 。至于具体的生产安排，将依实际需求而定。

在设备齐全之后，这里也不会增加任何新的晶圆容量，而是容纳更多 3D NAND 层数制造所需的、更先进的工艺设备。

据悉，随着 3D NAND 层数的增加，每片晶圆都需要在化学气相沉积（CVD）机器中耗费更多的时间，意味着蚀刻的工艺流程会被拖得更久。