光刻机|国产芯片巨头打破瓶颈,绕开荷兰EUV光刻机,实现8nm技术

光刻机|国产芯片巨头打破瓶颈,绕开荷兰EUV光刻机,实现8nm技术

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光刻机|国产芯片巨头打破瓶颈,绕开荷兰EUV光刻机,实现8nm技术

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光刻机|国产芯片巨头打破瓶颈,绕开荷兰EUV光刻机,实现8nm技术

光刻机无疑是目前掣肘我国芯片产业的重要设备 , 制约了我国芯片生产环节的发展 。 想要制造更高精度制程芯片 , 离不开高精度光刻机 。

近日有报道称 , 为推动EUV相关工艺制程进展 , 台积电到2021年底时 , 将累计拥有55台EUV光刻机 。

可见高端光刻机的重要性 。 与即将坐拥55台EUV光刻机的台积电不同 , 身为中国大陆第一代工巨头的中芯国际 , 却迟迟等不到一台ASML光刻机 。
在2018年 , 中芯国际便向ASML订下一台光刻机 。 然而 , 2018年、2019年ASML EUV光刻机总销量分别为18台与26台 , 却迟迟不给中芯国际发货 。

不过 , 在没有高精度光刻机的情况下 , 中芯国际并没有放弃对更高制程工艺的追求 。 如今 , 中芯国际成功打破瓶颈 , 其第二代FinFET N+1工艺更是取得了进一步突破 。
据悉 , 第二代FinFET N+1与台积电8nm工艺相当 , 与上代相比 , 面积与功耗分别缩减63%与7% , 并且性能大增20% 。
中芯国际官方已经表示 , 第二代FinFET N+1目前在客户导入阶段 , 并有望于2020年末进行小批量试产 。 也就说 , 明年中芯国际8nm芯片有望实现量产 , 这将推动我国芯片产业向前一大步 。

同时 , 中芯国际第二代FinFET N+2也正在研制之中 , 相信不久后便会有新的进展 。 目前 , 中芯国际最领先的制程为14nm , 在2019年第四季度时实现量产 。 到今年第一季度 , 14nm已经占据了中芯国际1.3%的比例 。
随着中芯国际14nm产能的不断提高 , 这一比例还将进一步提升 。 根据此前计划 , 到2020年末 , 中芯国际14nm产能有望达到1.5万片晶圆/月 。 近两年来 , 随着国家对芯片产业重视程度的提高 , 中芯国际更是愈发受到瞩目 。

近段时间 , 中芯国际不仅获得两大国家级基金共计160亿元的增资 , 并且成功上市 。 最终 , 中芯国际实现超计划募资532亿元 。
其中 , 中芯国际将拿出213亿元建设14nm生产线 , 用以扩大产能 。 其余资金则将用于补偿流动资金、先进与成熟工艺研发项目储备资金 。

在多方助力与中芯国际自身努力下 , 国产芯片有望迎来曙光 。 并且 , 中科院院长白春礼已经表示 , 将集中力量攻克光刻机等卡脖子难题 。 可以预见 , 接下来中国芯片产业将进步高速增长阶段 。
对此 , 你怎么看呢?不妨留言告诉笔者 。
【光刻机|国产芯片巨头打破瓶颈,绕开荷兰EUV光刻机,实现8nm技术】文/BU 审核/子扬 校对/知秋

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