光刻胶|为了任正非担忧的“一滴胶”,来了6台光刻机,193nm已攻克
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【光刻胶|为了任正非担忧的“一滴胶”,来了6台光刻机,193nm已攻克】
华为芯片被断供 , 让国产芯片供应链成为近来持续的热门话题 , 而这其中 , 作为芯片制造关键设备的光刻机 , 尤其引人关注 。 前不久 , 晶瑞股份宣布将投入1102.5万美元巨资购买一台SK海力士的二手ASML光刻机 , 另一家半导体公司英唐智控则通过收购先锋微技术 , 据说顺带拿下了5台光刻机 。
不过这两家企业所获得的6台光刻机 , 主要不是准备用来制造芯片的 , 而是为了芯片制造中一项关键材料 , 光刻胶的研发 。 如此不惜重金投入光刻胶研发领域 , 足见光刻胶对于芯片产业的重要性 , 也意味着我国企业在光刻机之外的另一项芯片关键技术上 , 正在加紧布局 。
就在上个月中旬 , 四大部委共同发布了一份指导意见 , 即《关于扩大战略性新兴产业投资培育壮大新增长点增长极的指导意见》 , 其中就明确提出要加快新材料产业强弱项 , 要求迅速在光刻胶、大尺寸硅片、电子封装材料等领域实现突破 。 与此同时 , 上海新阳、雅克科技、微芯新材等公司纷纷宣布进行专项投入 , 布局高端光刻胶的研发和产业化项目 , 国产光刻胶的前途似乎一片光明 。
然而现实却依然不太乐观 。 近日 , 华为心声社区发表了任正非在访问科研院所时 , 与科学家和大学生代表的谈话内容 , 任正非在讲话中坦承 , 目前我国的基础工业还是不强的 , 他还提到了“小小一滴胶 , 就制约一个国家的故事” , 虽然任正非并没有展开来讲这个“卡脖子”的故事 , 但很多人都知道 , 他指的就是芯片制造用的光刻胶 。 或许有人还记得去年7月份的时候 , 日本针对光刻胶等半导体材料向韩国发出了限制措施 , 虽然禁令很快就解除了 , 但还是让三星、SK海力士和LG显示等巨头感受到了空前的危机 。
光刻胶作为半导体制造业的基础性材料 , 其重要性并不亚于光刻机 。 与高端光刻机被ASML垄断类似 , 在光刻胶领域 , 日本厂商占据了绝对优势 , 仅富士胶片、信越化学、住友化学几家日本龙头公司 , 就占据了绝大部分市场份额 。 而在我国 , 除了在PCB(印制电路板)光刻胶方面由于技术门槛较低 , 国产化进展相对较快 , 已经能够基本满足国内主流厂商的需求之外 , 在技术难度更高的LCD(液晶显示器)光刻胶和高端半导体光刻胶方面 , 绝大部分都要依靠进口 。
尤其是技术含量最高的半导体光刻胶 , 目前的差距还是比较大的 。 根据公开的消息 , 晶瑞公司的i线光刻胶(365nm)已经通过中芯国际验证并开始量产 , 而精度更高的产品 , 当属南大光电的ArF光刻胶 。 根据今年5月份披露的信息 , 南大光电的ArF光刻胶产品开发和产业化项目 , 作为国家“02专项”集成电路芯片制造用关键核心材料研发的重要课题 , 将于明年接受验收 , 目前正处在ArF(193nm)光刻胶样品验证阶段 , 意味着193nm光刻胶已经被攻克 。
但南大光电同时还提到 , ArF(193nm)光刻胶产品开发技术突破难度大、工艺要求高 , 而且实现稳定量产周期较长 , 后续是否能取得下游客户的订单 , 能否大规模进入市场仍存在较多的不确定性 。 不过近来华为和中兴被限制的前车之鉴 , 以及有消息称美国主导的“瓦森纳协定”正在着手扩大半导体技术出口管制范围 , 除了ASML的EUV光刻机 , 还准备把日本公司的半导体光刻机和光刻胶纳入限制 , 这也让国内企业认识到光刻胶的危机离我们并不遥远 。
很显然 , 与光刻机一样 , 光刻胶也需要打造独立自主的能力 , 国产化已势在必行 。 为了任正非担忧的那“一滴胶” , 短期内就来了6台光刻机 , 这既体现了一种企业责任 , 也正是看到了危机中隐藏的巨大机会 。 只不过 , 高端半导体光刻胶国产化的难度 , 可能会比芯片和光刻机 , 还要大得多 。 上海微电子装备公司生产的光刻机已经达到90nm节点 , 准备在明年推出满足28纳米工艺的光刻机了 , 但在光刻胶领域 , 193nm虽然已攻克 , 却还没有形成产能 , 即便已经量产的低端光刻胶产品部分 , 也还没有形成规模 , 这样的差距 , 与快速发展的半导体行业相比 , 甚至被一些人认为是拖了后腿 。
但我们现在只能正视客观现实 , 一步一个脚印地追赶 。 比较利好的是 , 近年来 , 国产面板得到了突破性发展 , 以中芯国际为代表的圆晶代工也取得了规模化的进步 , 使得对上游包括光刻胶在内的原材料需求明显上升 , 这也为国产光刻胶的替代和发展创造了良好的市场条件 。
当然 , 正如任正非所言 , 光刻胶等原材料是高科技中的高科技 , 前期投入比较大 , 甚至还需要购买高端的光刻机 , 但市场容量却并不大 。 2019年的全球光刻胶市场总体规模才90亿美元左右 , 行业成长空间有限 , 加之处于垄断地位头部企业已经建立起了强大的技术壁垒 , 这也是之前我国企业在光刻胶领域缺少突破的重要原因 。 但是目前 , 在打造国产芯片供应链的大背景下 , 光刻胶的研发和光刻机一样已经成为战略需要 , 不能仅仅考虑是能否赚钱的问题了 。 何况现在有国家大力支持 , 市场需求又旺盛 , 的确是一个加速追赶建立自主供应链的大好时机 。
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