中国证券报@引爆涨停！价值7500万元，一台二手光刻机砸向A股，众多概念股再添一把火
9月29日早盘 ， 晶瑞股份高开9.46%至39.1元/股 ， 随后直线拉升 ， 截至午盘 ， 公司股价涨停 ， 涨幅达19.99% ， 报42.86元/股 。
另外“晶瑞转债”也一度上涨20% ， 触及盘中临时停牌 ， 复牌后小幅回落 ， 截至午间收盘 ， “晶瑞转债”涨幅为17.46% 。
消息面上 ， 晶瑞股份早间公告 ， 为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目 ， 拟通过Singtest Technology PTE. LTD.进口韩国SK Hynix的ASML光刻机设备 ， 总价款为1102.5万美元 ， 按当前汇率计算 ， 这一价款约合人民币7500万元 。
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晶瑞股份同时披露 ， 拟发行不超5.5亿元可转债 ， 用于集成电路制造用高端光刻胶研发项目、阳恒化工年产9万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目、补充流动资金或偿还银行贷款 。
晶瑞股份是国内半导体材料龙头 ， 主要产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料和锂电池粘结剂四大类微电子化学品 。 全资子公司苏州瑞红是国内光刻胶龙头 ， 1993年便开始光刻胶的生产 。
晶瑞股份也带动了A股其他光刻胶概念股大幅走高 ， 广信材料、飞凯材料、扬帆新材等均涨幅靠前 。
购买二手光刻机
众所周知 ， 荷兰ASML（阿斯麦尔）是全球光刻机顶尖龙头 ， 并且还垄断了光刻机领域最顶尖的EUV光刻机的生产制造能力 ， 售价高达1.2亿美元 。 EUV光刻机主要用于7nm和5nm芯片 。
ASML在全球更为广泛应用的产品是浸入式DUV光刻机 ， 采用ArF光源 ， 也称作ArFi光刻机 ， 其光源波长突破193nm ， 缩短为134nm ， NA值为1.35 ， 最新2000i的型号最高可实现7nm芯片制程节点 。
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来源：ASML
晶瑞股份方面人士告诉中国证券报采访人员 ， 现在光刻机设备并不好买 ， 公司并不是直接购买ASML的光刻机设备 ， 而是通过代理商购买存储器芯片厂商SK海力士的一台ASML二手光刻机设备 。
上述人士透露 ， 其购买的光刻机类型是ASML的1900型号的光刻机 。 根据公开报道 ， ASML的1900型号浸没式光刻机在2007年7月量产发货 ， 可以助力客户将芯片量产制造能力扩展到36.5nm节点 。
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来源：开源证券
根据曝光波长不同 ， 目前光刻胶可分为普通宽普光刻胶、g线（436nm）、i 线（365nm）、KrF（248nm）、ArF（193nm）及最先进的 EUV(<13.5nm) 光刻胶 ， 等级越往上 ， 其极限分辨率越高 ， 同一面积的硅晶圆布线密度就越大 ， 性能越好 。
晶瑞股份采购的这一台设备有助于其研发ArF（193nm）光刻胶 。 晶瑞股份全资子公司苏州瑞红 ， 是国内最早规模量产光刻胶的少数几家企业之一 。 苏州瑞红1993年开始生产光刻胶 ， 承担并完成了国家02专项“i线光刻胶产品开发及产业化”项目 ， 公司光刻胶产品达到国际中高级水准 ， 能够提供紫外负型光刻胶和宽谱正胶及部分g线、i线正胶等高端产品 ， i线光刻胶已向国内合肥长鑫、士兰微、扬杰科技、福顺微电子等行业头部公司供货 。 高端KrF光刻胶完成中试 ， 产品分辨率达到了0.25～0.13μm的技术要求 ， 建成了中试示范线 。
晶瑞股份公告称 ， 本次设备供应商为SK海力士（SK Hynix） ， 该公司为全球领先的半导体厂商 ， 代理商为Singtest Technology PTE. LTD. ， 公司通过代理商向SK Hynix的招标代理服务机构韩国LUNS Co.,Ltd进行沟通、协调 ， 并促成本次采购 。 公司已于2020年9月8日通过代理商Singtest Technology PTE. LTD.向SK Hynix报价 ， 于2020年9月24日确定中标 。 公司就供应商提供设备的能力、代理商协助交货能力进行了合理判断 ， 认为该供应商及代理商具备可靠的履约能力 。
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