图9 加工参数与微透镜轮廓的关系
总结
飞秒激光增强的局部化学刻蚀技术已经被证明可以有效地在石英玻璃上制备凹面多层膜 。 在3小时内 ， 分别在3 × 3 mm2和1.5 × 1.5 mm2的面积上成功制作了直径为67.05 m和30.54 m的矩形和六边形微透镜阵列 。 我们认为飞秒激光诱导的材料改性导致化学蚀刻的增强 ， 导致凹陷结构的形成 。 微透镜的轮廓可以通过化学蚀刻时间灵活控制 。 微透镜的直径D随着化学蚀刻过程而不断增加 ， 而凹陷高度h在关键时刻停止增加 。 因此 ， 微透镜的曲率直径R随着化学蚀刻而增加 。 此外 ， D和h也随着脉冲能量浓度的增加而增加 。 相应地 ， R的最大值可以在中间能量处获得 。
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