【原型|湖南大学展示纳米尺寸垂直晶体管原型器件】证券时报e公司讯 , 采访人员7日从湖南大学获悉 , 刘渊教授团队使用范德华金属集成法 , 成功展示了超短沟道垂直场效应晶体管 , 其有效沟道长度最短可小于1纳米 。 垂直晶体管具有天然的短沟道特性 , 其研发有望作为一种全新的器件微缩方向 。 如能通过进一步研究将真正的沟道物理长度缩小至10纳米甚至5纳米以下 , 未来将可能不再依赖传统的高精度光刻技术和刻蚀技术 。 (新华社)
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