【器件|【人工智能先锋城市@天津】有我在手，芯片不愁！】一颗高端滤波芯片的制造工艺非常复杂 ， 一条生产线大约涉及50多种精密设备、300多道工艺步骤 。 诺思微系统的滨海工厂位于天津市经济技术开发区 ， 2017年第三季度正式通线 ， 厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米 ， 目前该工厂月生产能力已达到3000万颗 。
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诺思的整座晶圆厂是一个高标准的无尘室 ， 为了保持生产环境的绝对洁净 ， 外来的空气必须先经过精细的高效过滤 ， 将比头发丝小50倍的0.1微米的颗粒都挡在洁净室外 。 无尘室中的温度、湿度、静电、压力、磁场以及震动等都需要严格控制 ， 而制造芯片所需要的纯水、化学品与气体等 ， 则是从无尘室外围透过纵横分布的管道 ， 直接输送到各类制造设备上 。 在制作环节上主要分为：光刻区、薄膜区、刻蚀区、减薄区、晶圆测试区等 ， 工厂生产基本上摆脱了对人工操作的依赖 ， 在生产线上可以达到80%以上的智能自动化 。
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如今 ， 公司参与研发人员近百人 ， 在体声波滤波领域已申请的国内发明专利达320项 ， 国际PCT专利130项 ， 在滤波器设计、器件结构、工艺、封装等多方面建立起强有力的技术壁垒 。 今年三月 ， 作为国内唯一具备大规模量产交付能力的平台 ， 诺思牵头国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”正式启动 ， 未来3年内诺思的量产产线将力争达到年产20亿颗芯片的产能规模 ， 为解决高端射频滤波芯片的国产供应提供保障 。
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来源：津云
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