世界最贵设备之一,光刻机( 二 )
在能够制造机器的这几家公司中 , 尤其以荷兰(ASML)技术最为先进 。 价格也最为高昂 。 光刻机的技术门槛极高 , 堪称人类智慧集大成的产物 。
荷兰ASML公司 (全称: Advanced Semiconductor Material Lithography 目前该全称已不做为公司标识使用 , 公司的注册标识为ASML Holding N.V) , 中文名称为阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾) 。 是总部设在荷兰Veldhoven的全球最大的半导体设备制造商之一 , 向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备 。 目前荷兰ASML垄断着全球高端光科技80%以上的份额 , 至于7纳米光刻机 , 那基本上是100%垄断 。 正因为技术全球领先 , 而且处于垄断地位 , 所以目前一台7纳米光刻机的价格是非常昂贵的 , 其价格达到了1.2亿美元 , 但即便光刻机的售价非常昂贵 , 目前仍然供不应求 , 有些厂家即便给到更高的价格也不一定能买到 , 因为7nm光刻机每年的出货量也就十几二十台 , 这些生产出来的光刻机还优先提供给ASMl的合作伙伴以及股东 。
光刻机是如何制造芯片的呢?我们首先了解一下光刻机的工作原理 。
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