为什么做CPU的“晶圆”不做成“晶方”?方形硅片不是产量更大吗( 五 )
丘克拉斯基(J.Czochralski)发明的提拉法 , 可以低成本制造人工无色蓝宝石、红宝石等多种宝石晶体
对于芯片行业来说 , 人造宝石的诱惑力当然是不够的~
工程师们完善了丘克拉斯基的提拉法 , 将多晶硅材料(籽晶)置于籽晶杆上 , 在石英坩埚中加热(约1000摄氏度) , 加热过程中还需注入适当比例的惰性气体(而非单纯的空气) , 以便于多晶硅融化且不和空气中的杂质产生化学反应 。 途中根据籽晶表面熔融状态提拉并转动籽晶杆 , 使熔体处于过冷状态而结晶于籽晶上(即硅晶生长过程) , 最终从坩埚的熔体中拉制出具有截面形状的硅晶体柱——硅碇(ingot):
丘克拉斯基于1917年发明的“提拉法”(Czochralski method) , 成为当代芯片制造业的奠基石
如果看到上述提拉法制造硅碇的生长(制作)过程有些复杂 , 没关系 , 相信下面这张动图能让你豁然开朗:
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