前沿科技 | 中科院等科学家合作研究制备出柔性碳纳米管传感存储一体化器件( 三 )_电荷耦合器件（CCD）与电荷存储器件（M

该项研究工作由金属所孙东明和曲庭玉提出设计构思，在中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员邱松、李清文，吉林大学教授王伟以及金属所的科研人员共同合作下完成。曲庭玉与孙陨开展了器件制备、电学测量和数据分析工作，陈茂林进行了电子束曝光等器件工艺研究，邱松、李清文合成了半导体性碳纳米管溶液，刘志博进行了样品的透射电镜表征，谭军开展了聚焦离子束等样品加工。所有作者共同参与了数据分析讨论及论文撰写工作。曲庭玉、孙陨、陈茂林为共同第一作者，邱松、韩拯、成会明、孙东明为共同通讯作者。该项研究工作得到国家自然科学基金、中科院、金属所、沈阳材料科学国家研究中心、青年千人计划和国家重点研发计划等资助。

图1. 器件设计与结构。 a）器件结构示意图；b）均匀离散分布的铝/氧化铝纳米晶点阵结构与c）碳纳米管薄膜沟道材料的SEM图；d）沟道中电荷密度分布仿真；e）铝纳米晶表面形貌图；f）碳纳米管薄膜与浮栅层结构的截面TEM与元素分布图；g）存储窗口。