原创<br> 深度解读芯片刻蚀：国产5nm机器就绪，2018全球销售额破历史新高( 十 )

2019-04-21

目前，AI、5G、汽车电子等已经成为半导体产业的新动能。因为有AI和5G核心技术的发展，驱动新的智能应用，带动集成电路的需求及增长，所以未来半导体产业仍会持续成长。

从14nm到5nm器件加工，刻蚀步骤会增加近乎三倍，对设备提出更高要求。14nm工艺节点等离子刻蚀机刻蚀步骤为65步，而在5nm节点下，刻蚀步骤数达到了150步。

对于刻蚀设备而言，随着工艺节点的不断缩小，一是需要更精密的加工精度来匹配先进制程，二是需要更高的刻蚀速度来完成更多的步骤要求。因此先进制程对刻蚀设备的要求显著提高。

工程建设投资高峰到来，中国半导体设备市场规模扩大。根据各公司官网数据，海通证券统计中国在建或计划建设的半导体工厂刻蚀设备投资额度约为449亿元。

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