原创<br> 深度解读芯片刻蚀：国产5nm机器就绪，2018全球销售额破历史新高( 六 )

2019-04-21

除了美国、日本以外，中国已经逐渐成为世界第三大半导体设备供应商，目前中国已经有34家装备供应厂家，主要集中在北京、上海与沈阳等地。根据中微半导体创始人尹志尧预计，未来在刻蚀机领域国产率将达50%；MOCVD领域未来将达70%国产率。

国内刻蚀机设备厂商主要国内玩家则有中微半导体、北方华创、金盛微纳科技等。目前，国内刻蚀设备供应商有望在突破国际垄断。

2018年12月，中微半导体的5nm等离子体刻蚀机宣布通过台积电验证，将用于全球首条5nm制程生产线。而在7nm时代，中微半导体的刻蚀机也进入了台积电的7nm产线。

北方华创则在2016年突破14nm生产技术，而根据其2018年中报，北方华创12英寸90-28纳米集成电路工艺设备已实现了产业化，12英寸14纳米集成电路工艺设备也进入了工艺验证阶段。

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