深度解读芯片刻蚀: 国产5nm机器就绪, 2018全球销售额破历史新高( 四 )
按照反应原理来划分，干法刻蚀分为三种：
1）物理性刻蚀，又称离子束溅射刻蚀，原理是使带能粒子在强电场下加速，这些带能粒子通过溅射刻蚀作用去除未被保护的硅片表面材料。
2）化学性刻蚀，又称等离子体刻蚀，纯化学刻蚀作用中，通过等离子体产生的自由基和反应原子与硅片表面的物质发生化学反应达到刻蚀的效果。
3）物理化学性刻蚀，即反应离子刻蚀，为物理刻蚀与化学刻蚀混合作用。这种物理和化学混合的作用机理结合了两种作用的优点，能获得较好的线宽控制并有较好的选择比，因而在大多数干法刻蚀中多采用反应离子刻蚀。
按照被刻蚀的材料，干法刻蚀又可以分为三种：金属刻蚀、介质刻蚀和硅刻蚀；其中，介质刻蚀使用量最大。
半导体先进制程加速，对刻蚀设备要求提高
刻蚀技术随着硅片制造技术的发展有了很多改变，最早的圆筒式刻蚀机简单，只能进行有限的控制。
推荐阅读
- 无尽梦魇|魔兽世界TBC：深度解析“翠绿的宝珠”对哪些职业保值
- 阴阳师|阴阳师：茶几翻身成唯一输出核心？活动“猿蟹大合战”玩法解读
- 李九|S组才是真正的宝藏！解说李九深度分析KPL秋季赛第三轮，爆发到了
- edg战队|EDG众将迎接决赛，小虎出面力挺，对DK的解读一针见血
- 王者荣耀|英雄联盟手游被指抄袭王者荣耀？王者玩家看好了，这叫深度还原
- 万圣节|炉石英雄竟成童话主角？万圣节“童话故事合集”解读
- s6|云顶：S6版本最大变数，154种海克斯芯片，优势吃鸡容错率更高了
- fpx战队|深度分析：FPX四个0-1的惨败原因，S11的FPX能否登顶外战第一耻辱
- 王者荣耀|部落冲突：用“王者荣耀”来解读村庄四王，他们的用途一目了然！
- 魔兽世界|魔兽世界：暴雪解读副本规则，想要避免被“黑”，团长必须这么做