中科钢研碳化硅项目总部基地落户上海，赋能第三代半导体材料( 二 )_：中科钢研碳化硅项目总部基地落户上海

中科钢研是由国务院国资委于2016年批复成立的新型央企控股混合所有制企业，其中，中国钢研科技集团有限公司通过其全资子公司新冶集团持股40%为公司第一大股东实现相对控股，弘睿天蓝作为公司管理与技术团队的持股平台占股25%，外部战略投资者国宏华业占股35%。是以新材料、节能环保、新能源等领域应用技术及相关产品的研发、产业化、市场推广为主的科技创新型企业，于2018年入选国务院国资委国企改革“双百企业”。

中科钢研先后开发了高品质、大规格蓝宝石晶体制备工艺技术及长晶装备；高品质碳化硅晶体及衬底片制备工艺技术及长晶装备；废轮胎再生循环利用工艺技术及生产线；新型金刚石符合材料及成套生产装置；石墨烯碳纳米电热膜生产工艺技术及生产线等多项达到国际一流技术水平。上述多项技术填补了国内行业空白。

据中科钢研方面向澎湃新闻介绍，此次签约的先进晶体产业化项目，系中科钢研与国宏华业在引进日本升华法（PVT），高温化学气相沉积法（HTCVD）及俄罗斯电阻加热升华法等国际一流碳化硅长晶工艺技术与装备的基础上，通过三年来的技术消化吸收再创新，通过工艺建模、数值模拟、设备集成、工艺试验等方面的系统性工作，在碳化硅长晶专用装备、碳化硅高纯度原料合成、碳化硅单晶生长及衬底片加工工艺方面取得了较大进展，形成了具有自主知识产权的以碳化硅单晶生长核心工艺技术为代表的完整工艺技术体系。