阿斯麦 (ASML.US)的光刻机霸主之路( 三 )
2. 发展历程:从 PAS 到 EUV,从单一光刻机走向整体光刻时代
ASML(阿斯麦)是一家专注于提供整体光刻解决方案的供应商,为其客户提供工具——硬 件、软件和服务——来创建定义芯片上电子电路的模式。该公司成立于 1984 年,总部位于 荷兰费尔德霍芬(Veldhoven), 至今已成立 35 年。ASML 以创新为生命线,不断研发新产 品,先后成功研制出双工作台、浸没式 TWINSCAN XT、TWINSCAN NXT 系列、新一代 EUV 光刻机 TWINSCAN NXE 系列,目前已成为全球最大的半导体光刻机设备及服务提供商,拥有 23247 名员工,办公室遍布全球16 个国家 60 个城市,2018 年光刻机出货224 台,实现 净销售额 129.26 亿美元,实现净利润31.94 亿美元。
推出 PAS 2500 光刻机,建立起一定的名气。1984 年,飞利浦与芯片制造商 ASMI合资成立 了 ASML,专门从事光刻机设备的开发。成立之初,ASML 资金匮乏,但是 ASML 不断坚持 创新与实践,成立当年推出了 PAS2000 步进式光刻机。公司迅速发展,得到飞利浦和 ASMI 的追加投资,1985 年已拥有100 多名员工,并搬到了新建的办公室和工厂;1986 年,公司 采用新的对中技术推出 PAS 2500 步进式光刻机,开始在市场上建立起一定的名气,同年与 镜片制造商CarlZeiss建立合作伙伴关系;1988年随着飞利浦在台湾建立合资铸造厂,ASML 开始在亚洲市场开拓道路。
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