阿斯麦 (ASML.US)的光刻机霸主之路( 四 )_：阿斯麦(ASML.US)的光刻机霸主之路来

PAS5500 光刻机取得巨大成功，成功上市带来充裕资金。1991 年，公司推出了 PAS5500 光刻机，拥有业界领先的生产力和分辨率，取得巨大成功，今天仍然有被使用，由此 ASML 开始走向成熟；1995，ASML在纳斯达克和阿姆斯特丹交易所上市，带来充裕的资金，为 ASML的发展奠定了物质基础；并且ASML收购了飞利浦持有的股份，成为完全独立的公司。

成功研制双工作台、浸没式 TWINSCANXT、TWINSCANNXT 系列，一举奠定光刻机领域的霸主地位。2000 年代是 ASML 腾飞的十年，2001 年，ASML收购硅谷集团；同年，ASML 推出了双扫描系统，利用“双级”技术，在测量下一个晶圆的同时，暴露出一个晶圆，从而使性能和生产率最大化。2003 年，ASML 成功研制出世界上第一台浸入式光刻机 TWINSCANAT：1150i；接着 2006 年推出第一台沉浸式批量生产光刻机 TWINSCANXT：1700i；2007年又成功研发出第一台 193nm浸入式系统TWINSCANXT：1900i；具有双工作台、浸没式光刻技术的 TWINSCANXT、TWINSCANNXT 系列研制成功，奠定 ASML 在光刻机领域的霸主地位，尼康、佳能市场份额被急剧压缩。两年后的 2009 年，据 Bloomberg 数据显示，ASML 的营业额已达 22.25 亿美元，已经占据70%市场份额，成功登上光刻机领域的霸主之位。