全球占近七成市场!阿斯麦 (ASML.US)如何用35年走上光刻机霸主之路?( 四 )
PAS5500 光刻机取得巨大成功,成功上市带来充裕资金。1991 年,公司推出了 PAS5500 光刻机,拥有业界领先的生产力和分辨率,取得巨大成功,今天仍然有被使用,由此 ASML 开始走向成熟;1995,ASML在纳斯达克和阿姆斯特丹交易所上市,带来充裕的资金,为 ASML的发展奠定了物质基础;并且ASML收购了飞利浦持有的股份,成为完全独立的公司。
成功研制双工作台、浸没式 TWINSCANXT、TWINSCANNXT 系列,一举奠定光刻机领域 的霸主地位。2000 年代是 ASML 腾飞的十年,2001 年,ASML收购硅谷集团;同年,ASML 推出了双扫描系统,利用“双级”技术,在测量下一个晶圆的同时,暴露出一个晶圆,从而 使性能和生产率最大化。2003 年,ASML 成功研制出世界上第一台浸入式光刻机 TWINSCANAT:1150i;接着 2006 年推出第一台沉浸式批量生产光刻机 TWINSCANXT:1700i;2007年又成功研发出第一台 193nm浸入式系统TWINSCANXT:1900i;具有双工 作台、浸没式光刻技术的 TWINSCANXT、TWINSCANNXT 系列研制成功,奠定 ASML 在 光刻机领域的霸主地位,尼康、佳能市场份额被急剧压缩。两年后的 2009 年,据 Bloomberg 数据显示,ASML 的营业额已达 22.25 亿美元,已经占据70%市场份额,成功登上光刻机领 域的霸主之位。
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