特种气体产业表现抢眼华特股份凭借核心技术优势进入国际先进行列( 二 )_

四大技术核心技术助力气体行业有序发展

气体纯化是通过多重高效吸附、精馏等方式,对气体原料中的水分、空气、金属离子、颗粒物等杂质进行去除,将气体纯度提至5N(99.999%)、6N(99.9999%)乃至7N(99.99999%)。一般而言,国家标准中的高纯气体纯度为5N(99.999%),而目前,华特股份已具备将NH3、He、N2、C2F6等多个产品纯化至6N、7N 的水平。以NH3为例,经公司纯化后纯度可达7N(99.99999%),其中各杂质的控制情况如下:H2≤10ppbv(即体积含量小于10*10-9),O2+Ar≤10ppbv,N2≤10ppbv,CH4≤10ppbv,CO≤10ppbv,CO2≤10ppbv,H2O≤60ppbv。

气体混配是指根据不同需求,运用重量法、分压法、动态体积法等方法,将两种或两种以上组分的气体按照特定比例混合,对配制过程的累计误差控制、配制精度、配制过程的杂质控制等均有极高要求。以光刻气为例,华特股份的Ar/F/Ne、Ar/Ne、Kr/Ne等光刻气产品的配气误差可控制在±2%以内,组分气从5N(99.999%)纯化到5N5(99.9995%),对于充装管线上的颗粒物过滤控制,可以控制0.003um的颗粒,弥补了国内在该领域的技术空白。