光刻机|制造光刻机的关键技术，被荷兰ASML垄断，这家中企突破技术封锁_asml

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在芯片制造领域，光刻这一环节的成本占比为30% ，超过占比20%的刻蚀、15%的物理气象沉积等环节，份额最重。光刻机是这一环节的核心装备，是全球顶尖工艺的集合，重量高达180吨，共由10万多个零部件组成。就算是在光刻机行业占垄断地位的ASML ，也无法实现光刻机完全自足。

据了解， ASML光刻机有将近90%的零部件，都是有供应商提供。不过，在关键技术上ASML牢牢抓在手中，譬如双工件台技术。值得欣慰的是，双工件台系统已由我国科技巨头——华卓精科突破了技术封锁。如今，华卓精科已成为全球第二个掌握双工件台技术的厂商。

据公开资料显示：华卓精科注册于2012年，创始人为清华大学工程系朱煜教授。在上世纪70年代时，光刻机及工艺被看作我国发展的一大重点，清华大学研发的步进式光刻机也在彼时诞生，并成为国产双工件台的最初模型。

但随着改革开放后，海外企业纷纷涌入中国市场， “造不如买”的开始兴起，使得我国光刻机研发进度大幅放缓。但是，朱煜教授并没有放弃在光刻机双工件台领域的研制，与同为清华大学的7人一起，创建了华卓精科，并在多年的发展中，终于取得突出的成就。

作为“02专项”的重点项目，华卓精科在2016年成功研制出α样机，并成功通过了验收。预示着我国光刻机双工件台领域，打破了长期以来的技术封锁。如今，华卓精科已拥有专利175件，不断形成自己的技术优势，并成为全球唯一单独出售工件台的厂商。

据了解，上海微电子预计在明年交付的28nm光刻机，背后便有着华卓精科的支撑。明年，华卓精科还将推出DWSi系列双工件台，售价高达6000万元。但华卓精科发展中仍有不小的问题，譬如总资产周转率低，为18.64% ，在A股上市半导体企业中，排在末位。

并且，华卓精科的双工件台仅限于小规模定制，难以进行规模化量产。同时，上海微电子是华卓精科光刻机双工件台唯一客户，并且销售收入呈现逐年下降态势。由此看来，华卓精科未来发展的挑战不小。如今华卓精科已经申报科创板，希望能以此进一步提升公司发展。其申请结果究竟如何，值得期待。
【光刻机|制造光刻机的关键技术，被荷兰ASML垄断，这家中企突破技术封锁】文/BU 审核/子扬校正/知秋