中国制成先进光刻机,打破外国封锁( 二 )
但是 , 由于高精度光刻机被荷兰ASML公司垄断 , 该公司曾经在中国禁止使用这种光刻机 , 这也导致了芯片在中国的发展缓慢 。
为此 , 中国研究人员决定挑战这种\"夹颈\"设备 。 经过长时间的努力 , 他们终于有所收获 。 最近 , 有消息称 , 一种新的方法创造了一个9纳米光刻测试原型 。
你知道 , 去年11月通过验收的\"超分辨率光刻设备研制\"的分辨率只有10纳米 。 现在我们已经达到了9纳米的水平 。 相信未来7纳米以下的技术节点会越来越近 。 别人很难再考虑我们的脖子了 。
此外 , 值得一提的是 , 中国科研人员研制的9纳米光刻实验样机是一种没有任何参考技术的新方法 , 其光刻技术与目前主流的光刻机不同 。
目前 , 主流光刻机通过不断减小光刻波长来作用于光刻胶 , 但我们采用两束激光同时作用于光刻胶 , 利用远场光学突破光束衍射极限 , 从而产生最小线宽为9nm的光刻线 。 因此 , 无论从哪个角度看 , 这都是一次重大的创新 , 也体现了我们面对高难度技术勇敢攀登科技\"高山\"的精神 。 我们每个人都值得学习!
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