一位关系人士表示， “ASML是为了避免因供应最先端设备给中国、因而刺激到美国，因此决定暂时中止交货” 。 EUV微影设备目前是由ASML独占进行研发、制造，无法寻求到替代品。

目前，中芯国际已经成功掌握FinFET技术，只要掌握了EUV技术，就可以与台积电站在同一起跑线熵，因为7nm 以下都是运用的 EUV 技术，这也标志着中芯国际将在未来5年之内成为中国内地下一个“台积电” 。

但是， ASML的断供将会为中芯国际的未来笼罩一层阴影。

从130纳米到7纳米的两大关卡

1987年已经56的张忠谋在台湾创办了全球第一家IC业的专业的代工公司台积电，

八十年代末，当时，全球的半导体行业采取的是单一的IDM模式，一般来说从前端的设计，到后端的芯片生产再到测试封装，都是由厂商独立完成的，基本所有的半导体产生都有自己的晶圆厂，当时英特尔、仙童半导体等芯片巨头无论在芯片设计或者后端的晶圆生产，在全球都有着重要的地位，这也是他们的产品能够傲视整个市场的保证。