传中芯订购EUV设备交付被延期,ASML官方回应

传中芯订购EUV设备交付被延期,ASML官方回应


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集微网11月7日消息 , 日经亚洲评论6日(北京时间)报道称 , ASML推迟了中芯国际的EUV光刻机交付 , 但具体原因无从得知 。

去年5月 , 中芯国际于向ASML订购了一台价值1.2亿美元的EUV光刻机 。 日经从三位消息人士处获悉 , 中芯国际订购的这台设备计划于今年年底交付 , 2020年中期完成安装 , 但目前货物正在“等待后续通知” 。

6日(北京时间)晚间 , 路透社报道指出 , ASML第一时间回应表示 , 该公司向一家中国客户出口其最先进的设备之一的许可证已经到期 , 正在等待荷兰政府批准新的许可证 。

ASML发言人Monique Mols进一步解释称 , 这台设备的价格大约为1亿欧元 , “ASML只是在遵守法律 , 法律明确指出 , 只有在拥有出口许可证的情况下才能够将EUV设备运输出去” 。

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