国产半导体设备多年沉淀终爆发！2020制程、测试、硅片设备全面开花 | 智东西内参(20)

2019-12-28

▲主要晶圆厂制程设备国产化率处于10%水平

各类制程设备的国产化率：

(1)去胶设备：国产化率最高的是去胶设备，主要是屹唐半导体实现了去胶设备国产化；

(2)清洗设备：国产化率约为20%左右，本土品牌主要是盛美半导体、北方华创；

(3)刻蚀设备：国产化率约为20%左右，本土品牌包括中微半导体、北方华创、屹唐半导体；

(4)热处理设备：国产化率约为20%左右，本土品牌包括北方华创、屹唐半导体；

(5) PVD设备：国产化率约为10%左右，本土品牌包括北方华创；

(6) CMP设备：国产化率约为10%左右，本土品牌包括华海清科；

(7) CVD设备：有零的突破，但总体国产化率不高于5% ，本体品牌是沈阳拓荆；

(8)量测设备：国产化率2%左右，本土品牌包括上海睿励、中科飞测、上海精测半导体；

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