检测|洁净室检测之气流流向检测
洁净室检测之气流流向检测
一、 测试目的
平行度测量的目的 , 是观察在工作区域里面气流的运动模式 , 同时也可以观察仪器设备对气流的影响 。 平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行 , 过早进行可能得不到正确的数据 。
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二、 测试方法
一般而言平行度的测量 , 是由肉眼观察所决定 。 使用的工具包括烟雾、水雾、 PFA 、和轻质棉线 。。 烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小 , 烟雾可随风飘扬 , 可正确的反映气流运动模式 。 但是其共同问题是滞空性不足 , 观测时间太短 。 测量平行度需要花一些时间 , 因此需要大量烟雾或水雾 , 对无尘室可能造成污染 。 另一种方式是使用轻质细线 , 让细线随风飘舞 , 然后测量气流平行度 。 在无尘室内普遍使用新的高分子材料 Flo-Viz, 是用尼龙抽成单丝所制成 , 由于质量很轻因此适合作无尘室平行度测量 。 测量平行度的方法是立一根铅垂线 , 然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线 , 之后观察所施放烟雾与铅垂线的夹角 , 或是测量细线与铅垂线的夹角 , 就可决定气流的平行度 。
【检测|洁净室检测之气流流向检测】三、测试仪器
1. 支架 2. 铅垂线 3.Flo-Viz 细线 4 .气流流向检测仪
四、测试步骤
1. 用支架设立垂线作为基准线 。
2. 将细线在室内悬吊 , 使其自然下垂 , 细线会随空气流向飘移 。计算偏移角 =tan-1( 悬吊线徧移量 /1220)。6. 每 3m×3m 区域量 1 点 。若是使用烟雾 , 其方式很类似 , 就是在滤网下施放烟雾 , 然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触 , 将红线当成烟雾 , 再计算夹角就可以了 。
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