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生产|光刻机巨头阿斯麦CEO：不卖EUV给中国大陆“是政府们的选择”

视频汉化/观察者网 吕栋
【文/观察者网 吕栋】
“这不是我们的选择 ， 而是政府们的选择 。 ”日前 ， 荷兰光刻机巨头阿斯麦CEO温彼得再次就向中国大陆出口EUV光刻机一事解释道 。 他今年1月曾表示 ， 中国不太可能独立复制（replicate）出顶尖的光刻技术 ， 但也别那么绝对 ， “他们肯定会尝试” 。
观察者网注意到 ， 由于最先进的EUV设备无法向中国大陆出口 ， 温彼得自2021年以来曾多次发声 。 2021年4月 ， 他曾喊话美国 ， 对华出口管制不仅不能阻碍中国技术进步 ， 也将伤害美国自身的经济 ， 限制出口只会加快中国自主研发的速度 。
但美国显然对温彼得喊话视而不见 。
2021年7月 ， 美国官员曾透露 ， 拜登政府在确认EUV光刻机在科技产业中的战略价值后 ， 选择延续特朗普时期的政策 。 随后温彼得表示 ， 针对中国大陆的情况 ， 该公司将不得不“静观其变” 。
在全球芯片短缺让产业链“叫苦不迭”之际 ， 阿斯麦作为最关键半导体生产设备——光刻机的制造商 ， 愈发引起产业界的关注 。 美国消费者新闻与商业频道（CNBC）近期对阿斯麦总部进行了实地探访 。
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图源：ASML
因为缺芯 ， “每天都在挣扎”
在荷兰南部靠近比利时边境的小镇费尔德霍芬（Veldhoven） ， 坐落着世界上唯一一家能够生产极紫外光刻机（EUV）的企业——阿斯麦（ASML） 。 在为数据中心、汽车和iPhone提供算力的先进半导体制造中 ， EUV光刻是最昂贵的一步 。
“阿斯麦在极紫外光刻机制造方面处于垄断地位 ， 我们今天使用的每一块先进处理器都需要用到EUV光刻机 。 ”塔夫茨大学（Tufts University）弗莱彻学院助理教授克里斯?米勒表示 ， 每一台EUV光刻机都是有史以来最复杂的设备之一 ， 这种机器重达180吨 。
EUV是极紫外光（Extreme Ultraviolet）的缩写 ， 这是一种波长极短的光 ， 阿斯麦生产的设备可以大量产生这种光 ， 用于在硅片上雕刻小而复杂的电路 。 极紫外光是由二氧化碳雷射去轰击每秒喷出5万次的液态锡滴（molten tin）而产生 ， 这种光通过一个直径为0.65米的椭球反光镜送进光刻机内 。 一部分极紫外光微粒被照射到硅片表面 ， 进而雕刻出决定每个芯片功能的微小图案 。
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极紫外光刻机内部
由于全球芯片短缺 ， 从索尼的游戏机PS5到雪佛兰汽车都开始出现订单积压 ， 芯片制造商对阿斯麦EUV光刻机的需求大幅提升 。 自2018年底以来 ， 阿斯麦的股价已经飙升超过340% ， 这使得该公司的市值超过英特尔等一些大客户 。
阿斯麦CEO温彼得（Peter Wennink）表示 ， 该公司成立38年以来一直致力于降低半导体的生产成本 ， 并将在“未来几十年”继续这样做 。 “世界需要更多的芯片 ， ”温彼得表示 ， “所以我们需要制造更多机器 ， 顺便提一句 ， 只要我们能继续降低每个晶体管的生产成本 ， 这些光刻机的平均售价就会不断提升 。 ”
即便如此 ， 温彼得也认为 ， 全球芯片短缺对阿斯麦来说是“Catch-22”（第22条军规 ， 意即进退两难、左右为难） 。
【生产|光刻机巨头阿斯麦CEO：不卖EUV给中国大陆“是政府们的选择”】“我们收到很多来自供应商的信息 ， 他们说 ， ‘嘿 ， 我们可能会延迟向你们交付模块 ， 因为我们无法获得芯片 。 ’我们说 ， ‘如果我们得不到芯片 ， 我们就不能制造机器来生产更多的芯片 。 ’”温彼得坦言 ， 阿斯麦仍在经营 ， “但每天都在挣扎 。 ”
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阿斯麦CEO温彼得
“严重依赖美国零部件的荷兰公司”
据温彼得透露 ， 阿斯麦过去10年共卖出140台EUV光刻系统 ， 现在每台售价高达2亿美元 ， 而下一代高数值孔径（High NA）EUV光刻机的售价将超过3亿美元 。
市场调研机构Semico Research的制造业务董事总经理乔安妮?伊托评论称 ， 阿斯麦的EUV光刻系统过于昂贵 ， 以至于大多数公司都买不起 。 她认为 ， 这会把很多厂商排除在市场之外 ， 包括芯片制造商格罗方德 。 由于成本太高 ， 格罗方德于2018年宣布停止7nm及以下先进制程的研发 。
如今 ， 阿斯麦EUV光刻机的客户只有五家（台积电、三星、英特尔、SK海力士和美光） 。 2021年 ， 最大的三个客户——台积电、三星和英特尔占阿斯麦业务量的84% 。 台积电表示 ， 该公司在2019年率先采用EUV光刻机大规模量产芯片 ， 从那之后一直处于领先地位 ， 芯片制程至少领先三星和英特尔一个节点 。
CNBC认为 ， 阿斯麦在光刻机领域的主导地位仍是“一个相对较新的现象” 。 10年前 ， 该公司开始进军EUV研发是由英特尔、三星和台积电的重大投资决定的 。
“我们没有钱 ， ”1999年加入阿斯麦的温彼得表示 ， “所以我们出去寻找合作伙伴 ， 这实际上是我们建立公司的基础 。 我们也因此被迫成为一个系统架构师和系统集成商 。 ”
把时间拉回到1984年 ， 阿斯麦刚成立时是荷兰电子巨头飞利浦的子公司 。 在荷兰艾恩德霍芬飞利浦办公大楼旁边一间漏水的小屋子里 ， 阿斯麦推出第一台用于半导体光刻的设备 ， 这种技术是20世纪50年代在美国军事实验室发明的 。
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图源：ASML

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