磷酸的腐蚀特性及缓蚀剂( 三 )
由于热磷酸对Ｓｉ３Ｎ４蚀刻的优点 ，在６５ ｎｍ的最先进制程中 ，热磷酸仍被广泛地用于前道ｓｉ ，Ｎ４去除工艺中 。本文对热磷酸在前道Ｓｉ ，Ｎ４去除工艺中的原理进行深入的介绍 ，针对湿法蚀刻中热磷酸蚀刻率受影响的因素 ，分别进行实验 ，对它们的影响进行量化 。详细地介绍了生产中磷酸体积分数的控制模式 。根据温度、 体积分数、 流量对于ｓｉ ，Ｎ４蚀刻率的作用 ，通过对这些参数的优化 ，磷酸蚀刻率可以稳定地控制在０． ５ ｎｍ的波动范围内 。
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