光刻机和刻蚀机的区别
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【光刻机和刻蚀机的区别】刻蚀相对光刻要容易 。光刻机把图案印上去 ， 然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案（或者没有图案）的部分 ， 留下剩余的部分 。“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆（或者叫硅片）上盖上事先做好的光刻板，然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射 。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质 ， 易于腐蚀 。“刻蚀”是光刻后，用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉（正胶），晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形 。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀，形成半导体器件及其电路 。扩展资料：光刻机一般根据操作的简便性分为三种 ， 手动、半自动、全自动1.手动：指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮改变它的X轴，Y轴和thita角度来完成对准，对准精度可想而知不高了；2.半自动：指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐；3.自动： 指的是 从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要 。参考资料：百度百科-光刻机 ， 百度百科-刻蚀
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