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在阅读一篇DUV光刻机论文 ， 发现了一篇介绍俄罗斯300瓦高功率准分子激光的论文 。 这引起了我的好奇 ， 由于随手一搜 ， 发现了俄罗斯这一家193nmDUV光刻机ArF准分子激光光源供应商：
optosystems；这家公司主页上介绍了其ArF准分子激光技术：高达 6 kHz 的极高重复率；高达 160 W 的高平均功率 。 这是可以和世界前2的DUV光刻机准分子激光光源Cymer以及Gigaphoton媲美的性能 。
该公司网站给出了一台商用DUV光源DC4000的光源参数 。 而中国的科益虹源的光源目前似乎还达不到俄罗斯的水平 。 这是怎么一回事呢？我前几天给大家介绍了俄罗斯拥有最领先的第二代高温超导REBCO带材的技术 ， 并且给麻省理工学院的高温超导托卡马克大批量供应 。 前天也看到俄罗斯总统普京宣布 ， 俄罗斯的太空核动力研究领先世界6-7年 。
【神经元|俄罗斯居然有世界最领先的DUV光刻机准分子激光技术？】而实际上 ， 准分子激光器是1970年 ， 由俄罗斯科学家Nikolai Basov、V. A. Danilychev、Yu. M. Popov在莫斯科Lebedev物理研究所发明的 。 当时使用了氙气受激发射的电子束激发态二聚体（Xe2） ， 波长为172nm 。 所以俄罗斯拥有世界上最领先的准分子激光技术 ， 似乎并不是很奇怪的事情 。 不过 ， 奇怪的是 ， 我们国家似乎极少报道俄罗斯的技术 ， 比如此前国内一些高温超导的介绍是没有SuperOX的相关参数 ， 而报道DUV光刻机的准分子激光时 ， 我们也完全不了解俄罗斯的准分子激光技术 。 我想这是不是和我们的科研体系欧美化有关系呢？
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