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沈波|开放合作至关重要 帮助中国半导体产业就是帮助全球

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证券时报采访人员 王一鸣
全球“缺芯”背景下 ， 为晶圆厂提供光刻设备的领先企业阿斯麦（ASML）在第四届进博会上的亮相颇受关注 。
在本届进博会上 ， ASML选择用3D裸眼视频展示光刻机内部不同模块之间的基本原理；并带来了“铁三角”光刻全方位解决方案 ， 即以先进控制能力的光刻机台 ， 计算光刻和电子束量测 ， 通过建模、仿真、分析等技术 ， 不断提高边缘定位精度 ， 持续赋能每一代芯片的制造 ， 提高芯片生产的良率和产能 。
ASML全球副总裁、中国区总裁沈波在接受证券时报·e公司采访人员专访时表示 ， 今年是公司第三次参展 ， 希望在进博会的平台上 ， 让外界更直观地了解ASML；开放合作对构建复杂的半导体生态系统至关重要 ， 是行业赖以生存和繁荣的基础 ， 这与进博会主旨非常契合；作为产业链中的一员 ， ASML亦会继续秉承开放合作的精神去帮助客户、推动行业发展、创新 。
继续扩产需解决
供应链瓶颈
总部位于荷兰的ASML ， 目前每年投入约22亿欧元用于技术研发 ， 占年销售额比例约15% 。 公司在全球16个国家的60个城市设有办公室 ， 员工超过29000 ， 包括中国员工1000多名 。
从行业情况来看 ， 先进集成电路大规模生产线的投资可达100亿美元 ， 75%以上是半导体设备投资 ， 其中最关键、最大宗的设备是光刻机、等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备等 。 受益于全球缺芯背景下的扩产潮 ， 下游晶圆厂对于光刻系统的需求仍在高点 。
财报显示 ， 第三季度ASML共出货79台光刻系统 ， 总量比上个季度多出7台；同期实现净利润17亿欧元 ， 较上一季度增长67.6% ， 净销售额52.41亿欧元 ， 较上一季度增长30.4% ， 多项业绩数据均创下历史纪录 。 同时该公司完成累计出货1000台ArF浸润式光刻系统的里程碑 。
面对旺盛的需求 ， 沈波在谈及产能情况时介绍：“整个产业链正处于非常紧张的状态 ， 在芯片制造设备供应商中 ， 我们供货周期较长 ， 这是由于光刻机相对复杂 ， 并且客户对公司产品的需求相对更多 。 所以近年来公司扩产幅度在历史上前所未有 ， 但扩产也面临了一定局限性 。 ”
由于供应链长 ， ASML的扩产不可避免地面临供应链原材料短缺问题的影响 ， 其中 ， 扩产瓶颈之一是需要高度精密加工的光学镜片 。
该镜片精度要求有多高？沈波举例 ， 一款高精密的镜片大小约1平方米 ， 但在测试时需将该镜片放大到接近德国国土面积大小 ， 而其表面平整度的起伏不能超过1毫米；另一个相当的比方是 ， 从地球上打一束光到月球 ， 在月球表面的位置误差不能超过1元硬币大小 。
超高精度要求使得相关零部件制造流程异常复杂 ， 这意味着 ， ASML的扩产需要供应商的配套跟进 ， 比如供应商扩做镜片的材料、设备都需要有一定周期 。 ASML光刻设备的供应链是半导体产业的缩影 ， 开放合作是发展的基石 ， 目前公司有着数千家供应商 ， 光刻设备约85%的零部件是与供应链共同研发 。

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