CPU的制作过程: 光刻( 二 )
03、溶解光刻胶:--尺度:晶体管级别(50-200纳米)
曝光过的光刻胶被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。
04、蚀刻:--尺度:晶体管级别(50-200纳米)
使用化学物质溶解掉暴露出来的晶圆部分,而剩下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。
05、清除光刻胶:--尺度:晶体管级别(50-200纳米)
蚀刻完成后,光刻胶会被全部清除,然后就可以看到设计好的电路图案。
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