三星、SK海力士向EUV工艺转换受限，将落后于台积电_：三星、SK海力士向EUV工艺转换受限

科技频道提示您本文原始标题是：三星、SK海力士向EUV工艺转换受限，将落后于台积电来源：摩尔精英

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韩国半导体行业向极紫外线（EUV）工艺转换过程中，遭到日本政府出口限制，而此时晶圆代工领域第一的台积电正扩大投资。

三星电子本月推出的Galaxy Note 10上搭载了7nm EUV工艺制造的应用处理器，三星电子从今年4月开始就采用7nm工艺进行量产，计划从2020年将正式启动华城工厂EUV专用产线。SK海力士也正准备导入EUV工艺，去年底宣布了EUV专用工厂M16的施工计划，计划在2020年10月完工。

EUV光线波长是现有ArF工艺的1/14，能形成非常精细的电路，通过微细工艺提升晶圆生产效率和产品性能。但是日本政府突然对高纯度氟化氢、氟聚酰亚胺(Fluorine Polyimide)、光刻胶等往韩国出口的产品加强了限制，尤其是光刻胶，不是普通光刻胶而是EUV专用光刻胶。EUV专用光刻胶需要超高的纯度，由日本Shin Etsu、JSR、TOK工业等企业供应，没有其他厂商能生产。虽然韩国企业东进世美肯、SK材料、锦湖石化等企业也正在研发，但相关专家表示这是需要尖端技术的产品，研发出来需要好几年的时间。