三星、SK海力士向EUV工艺转换受限，将落后于台积电( 三 )
相关专家表示，EUV核心材料目前除了日本企业，没有其他合适的供货商，目前正在研究采用ArF设备进行Multi Patterning工艺高度化的方案。
与此同时，台积电正在强化EUV工艺发展，今年110亿美元的投资额中，80%会用于超微细工艺，计划在台湾台南园区新建EUV产线，并大量招聘员工，计划今年内招聘3000人以上，为有史以来最大的招聘规模。
韩国相关专家表示，如日本持续进行出口限制，将会对韩国企业EUV工艺转化造成较大影响，如果不能尽快解决该问题，韩国将落后于其他企业。
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