IT之家 2 月 12 日消息 ， 据华海清科发布 ， 近日 ， 华海清科晶圆再生业务取得进展 ， 12 英寸再生晶圆产品累计出货量已突破 10 万片 。
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【再生|华海清科12英寸再生晶圆出货量突破10万片】晶圆再生是将集成电路制造厂商在制造芯片的过程中使用过的控片、挡片回收 ， 将其工艺薄膜、金属颗粒残留等杂质去除 ， 使其达到再次使用的标准 。 随着我国集成电路产业快速发展 ， 12 英寸芯片生产线产能快速扩张 ， 对晶圆再生市场需求将持续增加 ， 发展空间巨大 。
化学机械抛光（以下简称 CMP）工艺和技术是晶圆再生工艺流程的核心和难点 ， 华海清科表示 ， 作为 CMP 设备专业制造商 ， 于 2019 年组建了晶圆再生研发团队 ， 成立晶圆再生事业部 ， 基于 CMP 工艺技术 ， 完成了多项再生晶圆关键技术研发 ， 形成了全套量产工艺 。 并建立了先进的专业生产线和质量保障体系 ， 通过了客户严格的审核与验证 ， 目前已与众多客户签订长期合同 ， 为 12 英寸高端芯片生产线提供大批量供货 。 目前 ， 客户已预定 2022 年产能超 50 万片 。
华海清科表示 ， 已为晶圆再生业务配备了专业标准的晶圆再生生产车间、完备的工艺设备及全面的量测设备 ， 根据客户需求 ， 生产能力最大可扩充至 20 万片 / 月 。
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