刻蚀过程研究报告

在半导体微器件的制造中，必须通过蚀刻各种材料，从表面移除整个层或将抗蚀剂图案转移到下面的层中。在蚀刻工艺中可以分为两种工艺：湿法和干法蚀刻，同时进一步分为各向同性和各向异性工艺（见下图）。

在各向同性蚀刻工艺中，蚀刻发生在横向和垂直方向，因此层不仅在厚度上被去除，而且在圆周上也被去除；而在各向异性工艺中，该层仅在垂直方向上被去除。根据需求，可能需要各向同性工艺以及各向异性工艺。
通常各向同性的蚀刻轮廓，湿法蚀刻很少用于结构化，但微机械器件是一个例外。此外硅晶体的原子结构，使用湿化学可以产生侧面角为90°或54.74°的轮廓。
最后蚀刻工艺的一个重要价值是选择性。选择性是应该被蚀刻的层(例如氧化膜)和另一层(例如抗蚀剂掩模)的磨损率，如果选择性是2:1 ，氧化物的蚀刻速度将是抗蚀剂的两倍。
【刻蚀过程研究报告】同时湿化学工艺不仅适用于蚀刻，也适用于其他需求，比如：1.湿法蚀刻:从整个晶片上去除掺杂或未掺杂的氧化物层；2.晶圆清洗；3.去除光刻胶；4.背面处理:去除在其他过程中作为副产品沉积的层(例如热氧化)；5.聚合物去除:去除干蚀刻过程中产生的副产品等。

刻蚀过程研究报告

推荐阅读

如何找寻自我

缝纫机调线器怎么安装平车方法如何

强组词强字组词

火笋鸡翅的做法（增肥食谱）

闺女生日快乐祝福语朋友圈

LV请来潮牌设计师做艺术总监，看中的是啥

老虎豆怎么做好吃老虎豆图片怎样弄来吃

暖气有流水声是什么原因

皮球是什么体

手机怎样开通QQ空间

男生发mua说明 mua是什么意思

手指盖凹陷怎么回事

对自己的生活失去掌控咋调整

小米10s怎么没有月亮模式

我想找个偏僻的地方搞养殖！有没有推荐的地方？

南京养老金认证上门服务怎么申请南京市养老金认证

如何评价猪场阉割猪？

最后一个字是豹的成语

泰山散酒怎么样

猫发情的声音(猫发情的叫声)