超高真空系统中常用到的泵，这六种你全都了解吗？( 二 )
六、吸气剂泵（NEG）
吸气剂泵是近年来使用较多的一种真空泵 ， 其优点是完全采用化学吸附 ， 不产生蒸镀和电磁污染 ， 往往配合分子泵使用 ， 取代钛升华泵和溅射离子泵的位置 ， 缺点是成本较高 ， 再生次数有限 ， 通常用于对真空稳定性要求较高或对电磁场高度敏感的系统 。
另外 ， 由于吸气剂泵除初始激活外无需额外电源接入 ， 也经常在大型系统中作为增大抽速、提高真空度的辅助泵使用 ， 可以有效简化系统 。
图1
图1. 不同种类的泵对应的工作气压 。 其中棕色箭头范围为最大许可的工作气压范围 ， 绿色加粗部分为常用的工作气压范围 。
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