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等离子清洗机使用各种气体表面清洗和激活通常使用氧、氢、氮和压缩空气但氩也根据工艺要求使用 。 那么为什么要使用这种气体以及它在等离子清洗机中的主要作用呢?
氬是一种单原子分子 ， 是一种无色、无臭、无味的气体 。 它是空气中稀有气体中含量最高的一种 。 由于它在自然界中含量很高 ， 氩是最早发现的稀有气体 。 化学性质非常不活跃但它的化合物氟氩化氢已经制成 。
氩气的主要用途是它的惰性可以保护一些容易与周围物质发生反应的东西 。 虽然其他惰性气体也有这些特性但氩气在空气中含量最高也是最容易获得的所以相对便宜经济效益好 。 氩电离产生的离子体与基体无化学反应 。
在等离子体清洗中氩主要用于基体表面的物理清洗和表面粗化 。 因此氩等离子体清洗机广泛应用于半导体、微电子等行业表面清洁 。
在去除玻璃等产品表面颗粒的过程中通常使用等离子体轰击表面颗粒以实现颗粒的分散和松动然后进行离心清洗 。 特别是在半导体包装过程中 ， 为了防止导线氧化采用氩等离子体或氩氢等离子体清洗表面 。
等离子清洗机的表面粗化 ， 旨在提高材料的表面粗糙度从而.增加材料的粘结、印刷和焊接 。
活性气体处理后也可增加表面张力但氩离子产生的颗粒相对较重氩离子在电场作用下的动能明显高于活性气体因此其粗化效果更明显 ， 广泛应用于无机表面粗化过程中 。 如玻璃基材表面处理、金属基材表面处理等 。
【等离子清洗机表面清洗和激活通常使用氧、氢、氮等气体。】在等离子体清洗机的活化和清洗过程中混合过程中的气体会取得相对较好的效果 。 由于氩分子量大电离后产生的颗粒比较后表面清洗和活化通常与活性气体结合最常见的是氩和氧的混合物 。
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