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一、靶材介绍
靶材是半导体、显示面板、光伏等领域制备功能薄膜的核心原材料 , 存在工艺不可替代性 。
由于是在溅射过程中被高速金属等离子体流轰击的目标材料 , 又称“溅射靶材” , 纯度为99.95%以上 , 更换不同靶材可得到不同的膜系 , 实现导电或阻挡等功能 。
不同应用的靶材品种性能要求各有侧重 , 重视高附加值的原料制备 。
整体而言 , 靶材的纯度、致密度和成分均匀性、晶粒等对靶材性能都有一定影响 , 且针对不同的下游影响程度和侧重点有所不同 。
▲ 溅射工艺原理图 , 资料来源:江丰电子招股书
二、靶材的分类
根据不同材质靶材可分为:金属靶材 , 陶瓷靶材 , 合金靶材 。
根据不同应用领域可分为:
● 半导体靶材:
电极、布线薄膜:铝靶材 , 铜靶材 , 金靶材 , 银靶材 , 钯靶材 , 铂靶材 , 铝硅合金靶材 , 铝硅铜合金靶材等 。
储存器电极薄膜:钼靶材 , 钨靶材 , 钛靶材等 。
粘附薄膜:钨靶材 , 钛靶材等 。
电容器绝缘膜薄膜:锆钛酸铅靶材等 。
● 磁记录靶材:
垂直磁记录薄膜:钴铬合金靶材等 。
硬盘用薄膜:钴铬钽合金靶材 , 钴铬铂合金靶材 , 钴铬钽铂合金靶材等 。
薄膜磁头:钴钽铬合金靶材 , 钴铬锆合金靶材等 。
人工晶体薄膜:钴铂合金靶材 , 钴钯合金靶材等 。
● 光记录靶材:
相变光盘记录薄膜:硒化碲靶材 , 硒化锑靶材 , 锗锑碲合金靶材 , 锗碲合金靶材等 。
磁光盘记录薄膜:镝铁钴合金靶材 , 铽镝铁合金靶材 , 铽铁钴合金靶材 , 氧化铝靶材 , 氧化镁靶材 , 氮化硅靶材等 。
光盘反射薄膜:铝靶材 , 铝钛合金靶材 , 铝铬合金靶材 , 金靶材 , 金合金靶材等 。
光盘保护薄膜:氮化硅靶材 , 氧化硅靶材 , 硫化锌靶材等 。
● 显示靶材:
透明导电薄膜:氧化铟锡靶材 , 氧化锌铝靶材等 。
电极布线薄膜:钼靶材 , 钨靶材 , 钛靶材 , 钽靶材 , 铬靶材 , 铝靶材 , 铝钛合金靶材 , 铝钽合金靶材等 。
电致发光薄膜:硫化锌掺锰靶材 , 硫化锌掺铽靶材 , 硫化钙掺铕靶材 , 氧化钇靶材 , 氧化钽靶材 , 钛酸钡靶材等 。
● 其他应用靶材:
装饰薄膜:钛靶材 , 锆靶材 , 铬靶材 , 钛铝合金靶材 , 不锈钢靶材等 。
低电阻薄膜:镍铬合金靶材 , 镍铬硅合金靶材 , 镍铬铝合金靶材 , 镍铜合金靶材等 。
超导薄膜:钇钡铜氧靶材 , 铋锶钙铜氧靶材等 。
工具镀薄膜:氮化物靶材 , 碳化物靶材 , 硼化物靶材 , 铬靶材 , 钛靶材 , 钛铝合金靶材 , 锆靶材 , 石墨靶材等 。
三、靶材产业链及市场
靶材制造产业链中主要环节为“金属提纯-靶材制造-溅射镀膜-终端应用”四个环节 , 各环节附加值的差异也遵从微笑曲线分布 。
其中溅射镀膜是整个产业链中技术要求最高的环节 , 溅射薄膜的品质对下游产品的质量具有重要的影响 。
▲ 资料来源:万联证券
从需求结构来看 , 显示用靶材占比最大、国内京东方和TCL等厂家份额有望超60%;半导体用靶材市场规模在两百亿元量级 , 技术要求最高 , 中国大陆及台湾市场占据半壁江山 。
记录媒体(机械硬盘HDD为主)用靶材份额仅次于显示领域 , HDD相对固态硬盘在服务器、数据中心等领域优势无可替代 , 但市场主要以海外为主光伏领域 , 当前薄膜电池以美国为主 , HJT电池由于效率优势随着成本下降发展可期 。
【真空镀膜:靶材分类与产业链介绍】据中国产业信息网 , 靶材行业市场空间有望从当前200亿元水平增至2023年300亿元 , 3年CAGR9.7%较高增长 。
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