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一、靶材介绍
靶材是半导体、显示面板、光伏等领域制备功能薄膜的核心原材料 ， 存在工艺不可替代性 。
由于是在溅射过程中被高速金属等离子体流轰击的目标材料 ， 又称“溅射靶材” ， 纯度为99.95%以上 ， 更换不同靶材可得到不同的膜系 ， 实现导电或阻挡等功能 。
不同应用的靶材品种性能要求各有侧重 ， 重视高附加值的原料制备 。
整体而言 ， 靶材的纯度、致密度和成分均匀性、晶粒等对靶材性能都有一定影响 ， 且针对不同的下游影响程度和侧重点有所不同 。
▲ 溅射工艺原理图 ， 资料来源：江丰电子招股书
二、靶材的分类
根据不同材质靶材可分为：金属靶材 ， 陶瓷靶材 ， 合金靶材 。
根据不同应用领域可分为:
● 半导体靶材：
电极、布线薄膜：铝靶材 ， 铜靶材 ， 金靶材 ， 银靶材 ， 钯靶材 ， 铂靶材 ， 铝硅合金靶材 ， 铝硅铜合金靶材等 。
储存器电极薄膜：钼靶材 ， 钨靶材 ， 钛靶材等 。
粘附薄膜：钨靶材 ， 钛靶材等 。
电容器绝缘膜薄膜：锆钛酸铅靶材等 。
● 磁记录靶材：
垂直磁记录薄膜：钴铬合金靶材等 。
硬盘用薄膜：钴铬钽合金靶材 ， 钴铬铂合金靶材 ， 钴铬钽铂合金靶材等 。
薄膜磁头：钴钽铬合金靶材 ， 钴铬锆合金靶材等 。
人工晶体薄膜：钴铂合金靶材 ， 钴钯合金靶材等 。
● 光记录靶材：
相变光盘记录薄膜：硒化碲靶材 ， 硒化锑靶材 ， 锗锑碲合金靶材 ， 锗碲合金靶材等 。
磁光盘记录薄膜：镝铁钴合金靶材 ， 铽镝铁合金靶材 ， 铽铁钴合金靶材 ， 氧化铝靶材 ， 氧化镁靶材 ， 氮化硅靶材等 。
光盘反射薄膜：铝靶材 ， 铝钛合金靶材 ， 铝铬合金靶材 ， 金靶材 ， 金合金靶材等 。
光盘保护薄膜：氮化硅靶材 ， 氧化硅靶材 ， 硫化锌靶材等 。
● 显示靶材：
透明导电薄膜：氧化铟锡靶材 ， 氧化锌铝靶材等 。
电极布线薄膜：钼靶材 ， 钨靶材 ， 钛靶材 ， 钽靶材 ， 铬靶材 ， 铝靶材 ， 铝钛合金靶材 ， 铝钽合金靶材等 。
电致发光薄膜：硫化锌掺锰靶材 ， 硫化锌掺铽靶材 ， 硫化钙掺铕靶材 ， 氧化钇靶材 ， 氧化钽靶材 ， 钛酸钡靶材等 。
● 其他应用靶材：
装饰薄膜：钛靶材 ， 锆靶材 ， 铬靶材 ， 钛铝合金靶材 ， 不锈钢靶材等 。
低电阻薄膜：镍铬合金靶材 ， 镍铬硅合金靶材 ， 镍铬铝合金靶材 ， 镍铜合金靶材等 。
超导薄膜：钇钡铜氧靶材 ， 铋锶钙铜氧靶材等 。
工具镀薄膜：氮化物靶材 ， 碳化物靶材 ， 硼化物靶材 ， 铬靶材 ， 钛靶材 ， 钛铝合金靶材 ， 锆靶材 ， 石墨靶材等 。
三、靶材产业链及市场
靶材制造产业链中主要环节为“金属提纯-靶材制造-溅射镀膜-终端应用”四个环节 ， 各环节附加值的差异也遵从微笑曲线分布 。
其中溅射镀膜是整个产业链中技术要求最高的环节 ， 溅射薄膜的品质对下游产品的质量具有重要的影响 。
▲ 资料来源：万联证券
从需求结构来看 ， 显示用靶材占比最大、国内京东方和TCL等厂家份额有望超60%；半导体用靶材市场规模在两百亿元量级 ， 技术要求最高 ， 中国大陆及台湾市场占据半壁江山 。
记录媒体（机械硬盘HDD为主）用靶材份额仅次于显示领域 ， HDD相对固态硬盘在服务器、数据中心等领域优势无可替代 ， 但市场主要以海外为主光伏领域 ， 当前薄膜电池以美国为主 ， HJT电池由于效率优势随着成本下降发展可期 。
【真空镀膜：靶材分类与产业链介绍】据中国产业信息网 ， 靶材行业市场空间有望从当前200亿元水平增至2023年300亿元 ， 3年CAGR9.7%较高增长 。
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