AMHS的出现就是要保证每一片晶圆的每一个流程正确 ， 最大限度利用生产设备 ， 减少空置状态 ， 提升产品良率 。
OHT是晶圆厂空中传输的主要设备 ， 一辆无人搬送车运送一盒晶圆 ， 沿着空中轨道一辆接着一辆密集穿梭 ， 执行搬运和传送任务 ， 自主移动机器人行走在工厂走道 ， 智能存储晶圆设备记录着每一批货物的位置 。
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Foup Stocker晶圆盒存储
缪峰说 ， 晶圆厂每天有几十万条传送任务 。 这时候 ， 软件调度系统就像城市里的交通控制中心 ， 指挥和控制整个生产过程 ， 调控不同批次晶圆在生产设备间的流转 ， 一旦流程出错 ， 生产路径就会堵塞 。 而如果没有适当的物料运送过去 ， 对生产设备来说就是极大浪费 ， “每一台设备都很贵 ， 我们希望它一直是满产的 。 ”
弥费科技正在开发的天车OHT即将进入某晶圆厂进行设备验证 ， 而软件调度系统是控制整个晶圆厂自动化物料搬运系统的核心软件 。
去年 ， 弥费科技和华中科技大学成立AI算法研究室 ， 将AI算法引入半导体调度系统 ， 研究传送任务排序和传送路径的优化 ， 以此提高晶圆厂生产效率 。
晶圆制造的复杂流程带来庞大数据量 。 弥费科技找到国内某12英寸晶圆厂 ， 利用这家晶圆厂过去10年的生产数据推算出现有系统传送任务的排序和传送路径的选择 。
缪峰认为 ， 自动化物料搬运系统的未来还是在于调度系统 。 以前需要100辆传送小车才能完成的事 ， 未来能否用80辆就能完成？调度系统的核心算法是最主要的突破口 。
“AI算法是可以不断迭代的 ， 和友商在硬件差不多的情况下 ， 软件和算法层面可以不断优化 ， AMHS的灵魂可以不断升级 。 ”过去二三十年形成的技术已经稳定 ， 但也意味着缺乏进一步突破的动力 。 而提升整个系统的效率 ， 他认为这是未来从事这个专业的人需要思考的 。
晶圆厂在盖 ， 机会就在
当前 ， 全球缺芯现象愈演愈烈 ， 半导体行业产能紧张 。 晶圆代工厂订单饱满 ， 代工价格上涨 。 产能扩张之下 ， 半导体设备获得发展良机 。 晶圆厂大规模新建产能 ， 直接利好上游半导体设备行业 。
国际半导体产业协会SEMI报告显示 ， 全球半导体制造商将在今年年底前开始建设19座新的高产能晶圆厂 ， 并在2022年再开工建设10座 ， 以满足市场对芯片的加速需求 。 未来几年 ， 这29座晶圆厂的设备支出预计将超1400亿美元 。
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图为光罩存储架 ， 用于临时存储光罩盒 。 光罩盒的作用是存放用于存储芯片电路图形的光罩 。 在无尘室内 ， 用于存储光罩的光罩盒在进入光刻机前被临时存储在光罩盒存储架上 ， 光罩盒存储架的储位可将超纯净干燥空气或氮气持续吹入光罩盒内 ， 以保证光罩（芯片电路图形）的洁净度和干燥度 。
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