芯片的生长素!电子特气和光刻胶专题,国产替代全面开启 | 智东西内参(15)

▲全球光刻胶市场结构

▲中国本土企业光刻胶生产结构

半导体是光刻胶最重要的应用领域 。 光刻和刻蚀技术是半导体芯片在精细线路图形加工中最重要的工艺 , 决定着芯片的最小特征尺寸 。 光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的30% , 耗时约占整个芯片工艺的40%~50% , 是芯片制造中最核心的工艺 。 光刻胶及其配套化学品在芯片制造材料成本中的占比高达12% , 是继硅片、电子气体的第三大IC制造材料 。

半导体光刻胶是光刻胶中最高端的品种 , 技术难度最高 。 自20世纪80年代开始 , 根据所使用的光源不同 , 光刻技术经历了从紫外(UV , g线436nm和i线365nm)到深紫外(DUV , 248nm和193nm)再到下一代的极紫外(EUV , 13.5nm)的发展过程 。

光刻胶市场需求快速增长 。 随着半导体线路图形越来越小 , 光刻工艺对光刻胶的需求量也越来越大 。 据测算 , 2018年全球半导体用光刻胶市场规模约13亿美元 , 预计未来5年年均增速约8%~10%;中国半导体用光刻胶市场规模约23亿元人民币 , 预计未来5年年均增速约10% 。

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