中国真的造不出光刻机吗?ASML总裁:中国永远无法模仿EUV光刻机( 二 )

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中国真的造不出光刻机吗?ASML总裁:中国永远无法模仿EUV光刻机


众所周知 , 随着中国制造向中国智能制造的转变 , 中国已经超过美国成为全球最大的芯片消费国 , 世界芯片制造产业也不可避免地向中国转移 。 虽然中国每年进口的芯片超过了3000亿美元 , 正在建设的晶圆厂也达到了57个 , 芯片产业发展得如火如荼 , 但是芯片制造最关键的环节光刻机却成了我国芯片产业的发展的死穴 。 因为中国只能生产90nm以上低端光刻机 , 而先进的高端光刻机都掌握在国外厂商手里 , 甚至有钱也买不到 。

春节前夕 , 荷兰ASML总裁Peter Wennink在ASML公司财报发布会上表示:中国永远无法模仿高端光刻机 。 这句话一方面是在回应美国担心高端光刻机交付中国后可能造成的技术失窃问题 , 另一方面也是在告诉中国 , 中国是有着知识产权领域良好信誉的国家 , 而且中国绕不开ASML的技术专利 。 长期以来 , 限于美国和欧洲签订有瓦森那协议 , 欧洲厂商不得把最先进的光刻机卖给中国 , 而且必须有美国发放的销售许可证 , 所以中芯国际2018年订购的最先进的EUV光刻机至今无法起运回国 。

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